以下の充実した研究施設を用いて，最先端のMEMS・マイクロ・ナノシステムの研究開発を進めています。 田中(秀)研究室のメンバーは，これら全ての研究施設にアクセスできます。研究施設，およびその中の装置のお世話も行っています。

ドローンで見る東北大学青葉山キャンパス (2017)


  ・田中(秀)研究室：20 mm角のMEMS試作ライン
    - 130 m²のクリーンルームがあります。
    - 研究室で開発した多くの微細加工装置が設置してあります。
    - 原理的な装置を利用して，MEMSを基礎から学べる最高の環境です。